垂直安裝
真空電容壓力計(jì)需垂直向上安裝，避免因傾斜導(dǎo)致可動(dòng)極板受力不均，引發(fā)測(cè)量誤差。若必須安裝在振動(dòng)位置，需使用真空軟管連接以避震，防止機(jī)械振動(dòng)影響電容穩(wěn)定性。
避免氣流干擾
安裝位置應(yīng)遠(yuǎn)離真空系統(tǒng)中的渦流或湍流區(qū)域，防止氣流沖擊導(dǎo)致薄膜振動(dòng)，影響測(cè)量精度。例如，在真空鍍膜設(shè)備中，需將壓力計(jì)安裝在氣流穩(wěn)定的主腔體而非抽氣口附近。
密封性檢查
定期檢查真空接口、接頭及密封圈狀態(tài)，確保無泄漏。發(fā)現(xiàn)磨損或損壞部件應(yīng)及時(shí)更換，維持系統(tǒng)氣密性。例如，O型圈老化可能導(dǎo)致真空度讀數(shù)偏低，需每6個(gè)月更換一次。
溫度范圍
嚴(yán)格在設(shè)備規(guī)定的溫度范圍內(nèi)使用（通常為0-50℃）。溫度過高會(huì)導(dǎo)致薄膜熱膨脹，過低則引發(fā)收縮，均會(huì)影響電容值。例如，在半導(dǎo)體工藝中，需通過恒溫裝置將環(huán)境溫度穩(wěn)定在±1℃以內(nèi)。
濕度控制
避免在潮濕環(huán)境中使用，防止內(nèi)部電路受潮短路或薄膜吸附水分。若需在濕度較高的實(shí)驗(yàn)室使用，可配備除濕機(jī)或選擇防潮型設(shè)備。
潔凈度要求
在高真空或超高真空環(huán)境中，需確保安裝區(qū)域潔凈度，防止顆粒物污染薄膜或電極。例如，在粒子物理實(shí)驗(yàn)中，需在真空腔體預(yù)抽至10?? Pa后再安裝壓力計(jì)。
校準(zhǔn)周期
根據(jù)使用頻率和環(huán)境條件，每3-6個(gè)月使用標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)進(jìn)行校準(zhǔn)。例如，在光伏鍍膜生產(chǎn)線中，建議每3個(gè)月校準(zhǔn)一次，確保測(cè)量精度符合工藝要求。
清潔保養(yǎng)
電子元件維護(hù)
定期清理電路板灰塵，避免靜電積累導(dǎo)致短路。檢查電纜連接是否牢固，防止松動(dòng)引起信號(hào)丟失或不穩(wěn)定。
預(yù)熱與調(diào)零
避免超量程使用
電容薄膜真空計(jì)有明確的測(cè)量范圍（如1×10?? Pa至1×10³ Pa），超出量程可能導(dǎo)致薄膜損壞或測(cè)量誤差增大。對(duì)于寬量程需求，可結(jié)合其他類型真空計(jì)（如熱陰極電離真空計(jì)）分段測(cè)量。
緩慢升壓/降壓
在測(cè)量過程中，避免壓力急劇變化（如快速開啟閥門），防止薄膜因應(yīng)力突變而損壞。例如，在真空干燥工藝中，需通過調(diào)節(jié)閥門開度控制抽氣速度。
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